感放射線性組成物用アルカリ性現像液

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴木俊一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993266344
Publication number (International publication number)：1995120935
Application date： Oct. 25, 1993
Publication date： May. 12, 1995
Summary：

【要約】【構成】本発明に係る感放射線性組成物用アルカリ性現像液は、[A]アルカリ性化合物および[B]非イオン性界面活性剤を含む水溶液であって、(i) pHが9〜13であり、かつ(ii)上記の非イオン性界面活性剤を0.01〜1.0重量%の量で含有している。【効果】本発明に係る感放射線性組成物用アルカリ性現像液を用いて塗膜を現像してレジストパターンあるいはカラーフィルタを形成すると、膜はがれを生じることなくかつ不要な塗膜を充分に溶解して除去することができ、スカム、膜残りなどを発生することなくシャープなパターンエッジを有する画素(カラーフィルタ)またはレジスト膜などを形成することができる。

Claim (excerpt)：

[A]アルカリ性化合物および[B]非イオン性界面活性剤を含む水溶液であって、(i) pHが9〜13であり、かつ(ii)上記の非イオン性界面活性剤を0.01〜1.0重量%の量で含有することを特徴とする感放射線性組成物用アルカリ性現像液。

IPC (2)：

G03F 7/32 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

特開平4-032849
特開平3-101735
画像形成材料及びそれを用いる画像形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-239484 Applicant：富士写真フイルム株式会社

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