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J-GLOBAL ID：200903016732995675

外観検査方法

Inventor： 鈴木 兵庫 ,  斉藤 伸介
Applicant, Patent owner： 株式会社日立国際電気
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004050051
Publication number (International publication number)：2005241370
Application date： Feb. 25, 2004
Publication date： Sep. 08, 2005
Summary：

【課題】 ガラス基板等の被検査物のむらを顕在化させて撮像し、モニタ表示することにより、定量的な評価をし易くし、そのデータの蓄積と別の媒体への出力を可能にした外観検査方法及び外観検査装置を提供する。【解決手段】 被検査物表面に、拡散光と指向性のある平行光を切り換えて照射し、それぞれの照明に応じてその反射光を撮像し、その画像は画像処理部を介してモニタ出力表示し、その画像から顕在化されたむらを目視検出する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

基板上に形成された膜面に、散乱光または平行光を照射し、該形成された膜の塗布欠陥を散乱光または平行光による反射輝度レベルの差として検出し、塗布欠陥を検出することを特徴とする外観検査方法。

IPC (2)：

G01N21/84 ,  G02F1/13

FI (2)：

G01N21/84 D ,  G02F1/13 101

F-Term (11)：

2G051AA90 ,  2G051AB07 ,  2G051AB12 ,  2G051CA04 ,  2G051CA11 ,  2G051CB01 ,  2G051CB08 ,  2H088FA11 ,  2H088FA30 ,  2H088HA04 ,  2H088MA16

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• アルミニウム-セラミックス接合基板およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-337106   Applicant：同和鉱業株式会社