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J-GLOBAL ID:200903016767760310

弾性表面波装置及びその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999059269
Publication number (International publication number):2000261284
Application date: Mar. 05, 1999
Publication date: Sep. 22, 2000
Summary:
【要約】【課題】 外形の占有面積の大きさが内蔵する弾性表面波素子とほぼ等しい、究極に小型化された表面実装可能な弾性表面波フィルタや振動子等の弾性表面波装置、及び、ウエハ状態でパッケージングまで行うことが可能で量産性に優れた製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 圧電基板1上に保護カバー4で覆った励振電極2及び該励振電極2に接続される入出力パッド3a,3bを形成し、各入出力パッド上に柱状電極5を立設するとともに、少なくとも柱状電極5の外周部を絶縁体6で包囲して成り、柱状電極5の上端部を電気信号の入出力端子としたことを特徴とする弾性表面波装置Sとする。
Claim (excerpt):
圧電基板上に保護カバーで覆った励振電極及び該励振電極に接続される入出力パッドを形成し、各入出力パッド上に柱状電極を立設するとともに、少なくとも前記柱状電極の外周部を絶縁体で包囲して成り、前記柱状電極の上端部を電気信号の入出力端子としたことを特徴とする弾性表面波装置。
IPC (2):
H03H 9/25 ,  H03H 3/08
FI (2):
H03H 9/25 A ,  H03H 3/08
F-Term (17):
5J097AA29 ,  5J097AA31 ,  5J097AA33 ,  5J097BB11 ,  5J097DD25 ,  5J097EE05 ,  5J097EE08 ,  5J097FF01 ,  5J097GG03 ,  5J097HA02 ,  5J097HA04 ,  5J097HA07 ,  5J097JJ06 ,  5J097JJ07 ,  5J097JJ09 ,  5J097KK09 ,  5J097KK10
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
  • 電子部品とその製造方法
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平9-053102   Applicant:松下電器産業株式会社
  • 特開平4-120810
  • 弾性表面波装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平3-277357   Applicant:株式会社村田製作所

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