ポジ型感光性樹脂組成物

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008023828
Publication number (International publication number)：2008242438
Application date： Feb. 04, 2008
Publication date： Oct. 09, 2008
Summary：

【課題】高透明性、低誘電率性、高耐溶剤性、高耐水性、高耐酸性、高耐アルカリ性、高耐熱性、下地との密着性等に優れ、アルカリ水溶液で現像することにより得られるパターニングされた樹脂膜の形成に有用なポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】一般式(I)で表される化合物を含む共重合体と1,2-キノンジアジド化合物との組成物、あるいはさらに他のアルカリ可溶性重合体を混合した組成物からなるポジ型感光性樹脂組成物を提供する。(式中、R1は水素、又は任意の水素がフッ素で置き換えられてもよい炭素数1〜5のアルキルであり、R2、R3およびR4はそれぞれ独立に、水酸基、炭素数1〜5のアルキル、炭素数1〜5のアルコキシ、または-O(Si(ClH2l+1)2O)m Si(CpH2p+1)3であり、lは1〜5の整数であり、mは0または1〜10の整数であり、nは1〜5の整数であり、pは1〜5の整数である)【選択図】なし

Claim (excerpt)：

一般式(I)で表されるラジカル重合性モノマー(a1)およびその他のラジカル重合性モノマー(a2)を重合して得られる共重合体(A)、1、2-キノンジアジド化合物(B)を含む感光性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/023 , G03F 7/075 , H01L 21/027 , C08F 220/12 , C08F 230/08

FI (5)：

G03F7/023 , G03F7/075 521 , H01L21/30 502R , C08F220/12 , C08F230/08

F-Term (50)：

2H025AA06 , 2H025AA07 , 2H025AA08 , 2H025AA10 , 2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB10 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CB34 , 2H025CB41 , 2H025CB43 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J100AB07Q , 4J100AF10Q , 4J100AJ02Q , 4J100AK32Q , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL10Q , 4J100AL16P , 4J100AL26P , 4J100BA02Q , 4J100BA03Q , 4J100BA12Q , 4J100BA15Q , 4J100BA40Q , 4J100BA43Q , 4J100BA71P , 4J100BA72P , 4J100BA75P , 4J100BA77P , 4J100BA78P , 4J100BA80P , 4J100BB00Q , 4J100BB07Q , 4J100BB18Q , 4J100BC53Q , 4J100BC54Q , 4J100DA01 , 4J100FA03 , 4J100FA08 , 4J100FA18 , 4J100JA37 , 4J100JA38

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

特開昭51-34711号公報
特開昭56-122031号公報
感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-350470 Applicant：日本合成ゴム株式会社

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Cited by examiner (5)

感光性樹脂組成物、LCD基板及びそのパターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-010981 Applicant：ドンジンセミケムカンパニーリミテッド
特開平1-126642
特開昭63-142347

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