電界放出型冷陰極装置およびその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：金田暢之 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999213721
Publication number (International publication number)：2000133117
Application date： Jul. 28, 1999
Publication date： May. 12, 2000
Summary：

【要約】【課題】実験的な試行錯誤をすることなく、簡便な方法によって、良好な電子ビームの放出・収束が可能な電界放出型冷陰極装置を提供する。【解決手段】尖鋭な先端形状をもつ複数のエミッタと、エミッタ群の上方近傍に設けられたゲート電極とを備えた電界放出冷陰極素子と、エミッタ群から放出された電子ビームを収束するレンズ電極と、収束された電子ビームが照射されるターゲットを有する電界放出型冷陰極装置の製造において、エミッタ群の専有する領域の面積を特定の関係式を用いて最適サイズに設定する。

Claim (excerpt)：

基板上に形成された尖鋭な先端形状をもつ複数のエミッタと、該エミッタ群のそれぞれの先端から電子を放出させるための開口部が形成され該エミッタ群の上方近傍に設けられたゲート電極とを備えた素子であって、該ゲート電極にエミッタよりも正の電圧を印加することによりエミッタ群から電子ビームを放出する電界放出型冷陰極素子と、該エミッタ群から放出された電子ビームを収束するレンズ電極と、該レンズ電極により収束された電子ビームが照射されるターゲットを有する電界放出型冷陰極装置において、エミッタを基準として、ゲート電圧をVg、エミッタ直上部のレンズ電極1の電圧をVg1、使用電流をI、ゲート電極とレンズ電極1との距離をL、電子の質量をm、電子の電荷をe、真空誘電率をe0としたとき、エミッタ群の専有する領域の面積Sが、9・I・L2/{4・e0(2e/m)1/2・(Vg1/2+Vg11/2)3}以上であることを特徴とする電界放出型冷陰極装置。

IPC (3)：

H01J 1/304 , H01J 9/02 , H01J 31/12

FI (3)：

H01J 1/30 F , H01J 9/02 B , H01J 31/12 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

電子ビーム装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-113310 Applicant：日本電気株式会社

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