欠陥種別判定装置及びプロセス管理システム

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994157424
Publication number (International publication number)：1996021803
Application date： Jul. 08, 1994
Publication date： Jan. 23, 1996
Summary：

【要約】【目的】本発明は、被検体の欠陥種別を自動的に判定でき、検査結果を迅速かつ正確にフィードバック可能な欠陥種別判定装置を提供することを目的とする。【構成】被検体Sの欠陥検査で発見された個々の欠陥の種別を判定する欠陥種別判定装置であって、ある入力パターンを任意の出力パターンに変換するニューロ処理ユニット5を備える。ニューロ処理ユニット5をそれぞれの欠陥種別に対応した各欠陥情報の入力パターンに対してそれぞれ任意の欠陥種別を示す出力パターンとなるように種々の欠陥種別を学習させておき、欠陥検査で検出された欠陥の欠陥情報をニューロ処理ユニット5へ入力してその出力パターンから当該欠陥の種別を決定する。

Claim (excerpt)：

被検体の欠陥検査で発見された個々の欠陥の種別を判定する欠陥種別判定装置において、ある入力パターンを任意の出力パターンに変換するニューロ処理ユニットを備え、それぞれの欠陥種別に対応した入力パターンの各欠陥情報に対してそれぞれ任意の欠陥種別を示す出力パターンが現われるように前記ニューロ処理ユニットを学習させておき、前記欠陥検査で検出された欠陥の欠陥情報を前記ニューロ処理ユニットへ入力しその出力パターンにて欠陥種別を決定することを特徴とする欠陥種別判定装置。

IPC (6)：

G01N 21/88 , G02F 1/13 101 , G06F 15/18 560 , G06T 7/00 , H01L 21/02 , H01L 21/66

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

外観検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-289963 Applicant：富士通株式会社
表面検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-330596 Applicant：株式会社神戸製鋼所
特開平2-287241

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