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J-GLOBAL ID:200903017380449540
シート貼付方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
岡田 全啓
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995143915
Publication number (International publication number):1996172061
Application date: May. 17, 1995
Publication date: Jul. 02, 1996
Summary:
【要約】【目的】 ワークにシートを貼付する時に、気泡が生じにくく、かつワークにクラックや割れの生じにくいシート貼付方法を提供する。【構成】 この発明にかかるシート貼付方法は、ワークを保持するステップと、ワークの一方主面に貼付すべきシートを、ワークの一方主面に対して保持するステップと、ワークを収納し、ワークとシートとの間の空間を含む第1の空間を形成するステップと、第1の空間とシートを挟んで対向するようにして第2の空間を形成するステップと、第2の空間に比べて第1の空間の気圧を低くするステップと、第2の空間と第1の空間との気圧差によりシートをワークの一方主面に押圧して貼付するステップとを含む。
Claim (excerpt):
ワークを保持するステップ、前記ワークの一方主面に貼付すべきシートを、前記ワークの一方主面に対して保持するステップ、前記ワークを収納し、前記ワークと前記シートとの間を含む略密閉された第1の空間を形成するステップ、前記第1の空間と前記シートを挟んで対向するようにして第2の空間を形成するステップ、前記第2の空間に比べて前記第1の空間の気圧を低くするステップ、および前記第2の空間と前記第1の空間との気圧差により前記シートを前記ワークの一方主面に押圧して貼付するステップを含む、シート貼付方法。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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特開昭55-078545
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特開昭49-005570
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特開平1-132113
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特開平2-054564
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半導体ウェーハへのテープ添着方法とその装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-054031
Applicant:富士通株式会社
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