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J-GLOBAL ID：200903017408621491

軟X線による試料解析装置及びその解析方法

Inventor： 野田 正治 ,  東 博純 ,  武市 晃洋
Applicant, Patent owner： 株式会社豊田中央研究所
Agent (1)： 大川 宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995146493
Publication number (International publication number)：1996338817
Application date： Jun. 13, 1995
Publication date： Dec. 24, 1996
Summary：

【要約】【目的】 軟X線を試料に透過させるものにおいて、試料の厚み方向に内部情報を簡単な演算操作で正確に解析し得るようにする。【構成】 軟X線は、YAGレーザー装置1を起動してターゲット3より発生させる。試料5は試料容器5内で回転レバー5を操作することにより、軟X線発生用のターゲット3の照射方向に対し任意角に傾けることができる。試料下にある検出器8は、各照射角ごとに取替え、一つの試料の内部情報を分離した複数の試料透過像を得ることができる。これら透過像は、試料の厚み方向の内部情報が検出器8に写像化されたものであるため、簡単な幾何学的演算により、試料の厚み方向の内部情報を正確に画像化することができる。

Claim (excerpt)：

実質的に点光源とみなせる軟X線光源と、測定されるべき試料に上記軟X線光源からの軟X線が照射されるように該試料を保持した試料ホルダと、上記試料を透過した軟X線を検出する軟X線検出器と、上記試料ホルダに保持された試料に対し上記軟X線光源からの軟X線の照射角を可変する照射角変更手段と、上記各照射角ごとに取替え若しくは未使用領域にシフトされた上記軟X線検出器に検出される少なくとも二つの試料透過像に基づいて試料の厚み方向に内部情報を得る解析手段とを具備したことを特徴とする軟X線による試料解析装置。

IPC (2)：

G01N 23/08 ,  G21K 7/00

FI (2)：

G01N 23/08 ,  G21K 7/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-065771
  
• 特開平2-205759
  
• X線像形成装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-010196   Applicant：理化学研究所