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J-GLOBAL ID：200903017518637563

X線検査方法及び装置

Inventor： 堀口 史郎 ,  結城 隆裕 ,  結城 滋 ,  牟礼 祥一 ,  庄野 博文
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 本庄 武男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993106389
Publication number (International publication number)：1994317543
Application date： May. 07, 1993
Publication date： Nov. 15, 1994
Summary：

【要約】【目的】 イメージングプレートでプリント基板を透過したX線画像を受像して,このX線透過画像を励起光により検出することによりX線検査を行う。【構成】 イメージングプレートは輝尽性蛍光体膜に放射線が照射されると,放射線情報を記憶し,後でその情報を光として取り出すことができる。このときの画像情報としての分解能は,励起光であるレーザービームのスポット径に依存するため拡大画像としなくても検査に必要な分解能を得ることができ,プリント基板1に対し,そのほぼ等倍の画像となる距離にイメージングプレート2を配置しても,X線源3から面状にX線が投射される場合にもプリント基板1を透過したX線はイメージングプレート2上にボケを生じることなく結像する。また,イメージングプレート2は所要の受像面積が得られるので,面積の大きなプリント基板1の場合にもプリント基板1を移動させて分割検査することが解消される。

Claim (excerpt)：

プリント基板にX線を照射して,該プリント基板を透過したX線の透過量分布画像を撮像し,該透過量分布画像に基づいてプリント基板の良否を検査するプリント基板のX線検査方法において,上記プリント基板を透過したX線をイメージングプレートで受像し,上記受像したイメージングプレートを励起光で走査してイメージングプレートから発する上記X線の透過量分布に比例した輝尽光を検出してX線透過量分布画像を作成することを特徴とするプリント基板のX線検査方法。

IPC (2)：

G01N 23/04 ,  G01B 15/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• はんだ付部のX線検査方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-261808   Applicant：株式会社日立製作所
• 特開平3-128447
  
• 特開昭60-125056