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J-GLOBAL ID：200903017568320684

可燃性ガスセンサ

Inventor： 大家 勉 ,  中田 嘉昭 ,  山岸 豊
Applicant, Patent owner： 株式会社堀場製作所
Agent (1)： 藤本 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008041725
Publication number (International publication number)：2008275588
Application date： Feb. 22, 2008
Publication date： Nov. 13, 2008
Summary：

【課題】全体の小型化を図りつつ、測定対象ガスと酸化触媒粒子の接触面積の増大に伴い酸化反応熱の発生量を増加するとともにその酸化反応熱の伝達性を改善して測定感度及び測定精度の著しい向上を実現できる可燃性ガスセンサを提供する。【解決手段】Si基板2の上面に異種金属を接合してなるサーモパイル4が形成され、このサーモパイル4の温接点部4a上に、多孔材料層に酸化触媒粒子を担持させてなる多孔触媒層6または多数の酸化触媒粒子を鎖状に繋ぎ結合させてなる鎖状触媒層7を設け、この多孔触媒層6または鎖状触媒層7をサーモパイル4の温接点部4aに結合している。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

半導体基板面に成膜された絶縁膜上に測温素子を形成し、この測温素子で測定対象ガスの発熱量を検出することにより、測定対象ガス中の可燃性ガスの濃度を測定するように構成されている可燃性ガスセンサであって、 前記測温素子の感熱部上に、多孔材料層に酸化触媒粒子を担持させてなる多孔触媒層または多数の酸化触媒粒子を鎖状に繋ぎ結合させてなる鎖状触媒層を設け、この触媒層を前記感熱部に一体結合していることを特徴とする可燃性ガスセンサ。

IPC (2)：

G01N 27/16 ,  G01N 25/30

FI (2)：

G01N27/16 B ,  G01N25/30

F-Term (15)：

2G040AB09 ,  2G040AB15 ,  2G040BA23 ,  2G040BB10 ,  2G040CB04 ,  2G040DA02 ,  2G040FA09 ,  2G060AA02 ,  2G060AE19 ,  2G060AE33 ,  2G060AF07 ,  2G060AG06 ,  2G060BA03 ,  2G060BB16 ,  2G060BB18

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 触媒燃焼式ガスセンサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-215905   Applicant：三菱マテリアル株式会社
• 可燃性ガスセンサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-252948   Applicant：株式会社堀場製作所