可燃性ガスセンサ

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：藤本英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004252948
Publication number (International publication number)：2006071362
Application date： Aug. 31, 2004
Publication date： Mar. 16, 2006
Summary：

【課題】単一のサーモパイル等の測温素子のみを用いて小型化、低コスト化を図りつつ、熱容量を低減して高感度化及び高速応答化並びにガス種の選択化を容易に実現できるようにする。【解決手段】シリコン基板2面に成膜されたダイヤフラム4上にサーモパイル等の測温素子5が形成され、この測温素子5の感熱部に対応するダイヤフラム4の裏面には酸化触媒6が担持され、かつ、シリコン基板2の表面上には、酸化触媒6を活性状態に維持可能な電熱ヒータ7が設けられている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

半導体基板面に成膜されたダイヤフラム上に測温素子が形成され、この測温素子で測定対象ガスの温度を測定することにより、測定対象ガス中に含まれている可燃性ガスを検知するように構成されている可燃性ガスセンサにおいて、前記測温素子の感熱部の表面若しくは裏面に酸化触媒が担持されていることを特徴とする可燃性ガスセンサ。

IPC (2)：

G01N 25/32 , G01N 25/30

FI (2)：

G01N25/32 , G01N25/30

F-Term (13)：

2G040AA03 , 2G040AB15 , 2G040BA23 , 2G040BB09 , 2G040CB02 , 2G040DA02 , 2G040DA03 , 2G040DA12 , 2G040EA02 , 2G040EB02 , 2G040FA01 , 2G040GA05 , 2G040GA07

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

触媒燃焼式ガスセンサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-215905 Applicant：三菱マテリアル株式会社
ホルムアルデヒド濃度計
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-038513 Applicant：株式会社テクノ菱和

Cited by examiner (4)

接触燃焼式ガスセンサ並びにガス検出方法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-277424 Applicant：矢崎総業株式会社
フローセンサおよびこれを用いた流量計
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-317376 Applicant：矢崎総業株式会社
可燃性ガスセンサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-198038 Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所

Show all

Return to Previous Page