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J-GLOBAL ID：200903017598446690
サンドブラスト用感光性樹脂組成物及びその用途
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997047801
Publication number (International publication number)：1998239840
Application date： Mar. 03, 1997
Publication date： Sep. 11, 1998
Summary：
【要約】【課題】 ガラス、低融点ガラス、セラミック等の被加工基材に適用する際に感度、解像度、現像性、密着性に優れ、サンドブラスト用のマスク材として被加工基材に微細なパターンを歩留まりよく加工できる材料及び加工方法を提供する。【解決手段】 末端に水酸基を有するポリマーと、特定のポリイソシアネートと、活性水素を有する官能基とエチレン性不飽和結合を同時に有する化合物より得られるポリウレタンプレポリマーと、アルカリ可溶性高分子と、エチレン性不飽和付加重合性モノマーと、光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物、及び支持体、前記感光性樹脂組成物、保護層を順次積層してなる感光性樹脂積層体を作製する。
Claim (excerpt)：
(i)末端に水酸基を有するポリマー、下記一般式(I)で示されるポリイソシアネート、【化1】(式中、R1〜R4は水素又はアルキル基)及び活性水素を有する官能基とエチレン性不飽和結合を同時に有する化合物より得られるポリウレタンプレポリマー、(ii)アルカリ可溶性高分子化合物、(iii)エチレン性不飽和付加重合性モノマー、及び(iv)光重合開始剤を含有することを特徴とするサンドブラスト用感光性樹脂組成物。
IPC (8)：
G03F 7/027 513
, B32B 27/40
, C08F 2/48
, C08F290/06
, C09D175/16
, G03F 7/004 512
, H01J 9/02
, B24C 1/04
G03F 7/027 513
, B32B 27/40
, C08F 2/48
, C08F290/06
, C09D175/16
, G03F 7/004 512
, H01J 9/02 F
, B24C 1/04 C
Cited by examiner (7)
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