Pat
J-GLOBAL ID：200903076775136210
感光性樹脂組成物、それを用いたサンドブラスト用感光性ドライフィルム及びそれを用いた食刻方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
阿形 明 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995107703
Publication number (International publication number)：1996305017
Application date： May. 01, 1995
Publication date： Nov. 22, 1996
Summary：
【要約】【構成】 (A)末端水酸基をもつポリエーテル又はポリエステルとジイソシアネートと水酸基をもつアクリレート又はメタクリレートとから得られる末端にアクリレート又はメタクリレート基をもつウレタン化合物、(B)酸価50〜250mg/KOHのアルカリ可溶性高分子化合物及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、この層を被処理体表面に設けホトリソグラフィーによりレジストパターンを形成させたのち、サンドブラスト処理を行うと表面を所定のパターンで食刻することができる。【効果】 良好な弾性、柔軟性及び密着性を有し、優れたアルカリ現像性を示す感光性樹脂であって、光硬化後の絶縁抵抗値が低いのでサンドブラストで食刻した場合、放電による損傷を生じることがない。
Claim (excerpt)：
(A)末端水酸基をもつポリエーテル又はポリエステルとジイソシアネートと水酸基をもつアクリレート又はメタクリレートとから得られる末端にアクリレート又はメタクリレート基をもつウレタン化合物、(B)酸価50〜250mg/KOHのアルカリ可溶性高分子化合物及び(C)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (4)：
G03F 7/027 513
, C08F299/06 MRW
, G03F 7/004 512
, H05K 3/04
G03F 7/027 513
, C08F299/06 MRW
, G03F 7/004 512
, H05K 3/04 D
Cited by examiner (7)
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