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J-GLOBAL ID：200903017602458089

感光性樹脂組成物およびこれを使用したパターン形成方法

Inventor： 山舗 有香 ,  吉村 利夫 ,  浅野 昌也
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993060109
Publication number (International publication number)：1994273936
Application date： Mar. 19, 1993
Publication date： Sep. 30, 1994
Summary：

【要約】【構成】本発明は、シロキサンポリマーと塩基発生剤を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物に関する。【効果】本発明の感光性樹脂組成物は、パターン精度および加工性に優れている。

Claim (excerpt)：

シロキサンポリマーと塩基発生剤を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (6)：

G03F 7/075 511 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/38 511 ,  H01L 21/027

FI (2)：

H01L 21/30 301 R ,  H01L 21/30 361 L

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• 感光性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-008052   Applicant：沖電気工業株式会社
• 高解像性レジスト組成物及びこれを用いたパターン形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-282987   Applicant：富士通株式会社
• 特開平4-158363
  
• 特開平4-162040
  

Cited by examiner (6)

• 感光性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-008052   Applicant：沖電気工業株式会社
• 高解像性レジスト組成物及びこれを用いたパターン形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-282987   Applicant：富士通株式会社
• 特開平4-158363
  
• 特開平4-158363
  
• 特開平4-162040
  
• 特開平4-162040