感光性樹脂組成物およびこれを使用したパターン形成方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993060109
Publication number (International publication number)：1994273936
Application date： Mar. 19, 1993
Publication date： Sep. 30, 1994
Summary：

【要約】【構成】本発明は、シロキサンポリマーと塩基発生剤を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物に関する。【効果】本発明の感光性樹脂組成物は、パターン精度および加工性に優れている。

Claim (excerpt)：

シロキサンポリマーと塩基発生剤を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (6)：

G03F 7/075 511 , G03F 7/004 503 , G03F 7/028 , G03F 7/038 , G03F 7/38 511 , H01L 21/027

FI (2)：

H01L 21/30 301 R , H01L 21/30 361 L

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-008052 Applicant：沖電気工業株式会社
高解像性レジスト組成物及びこれを用いたパターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-282987 Applicant：富士通株式会社
特開平4-158363

Show all

Return to Previous Page