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J-GLOBAL ID：200903017626604485
耐熱衝撃性のすぐれたスパッタリング焼結ターゲット材
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
富田 和夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993216971
Publication number (International publication number)：1995054137
Application date： Aug. 09, 1993
Publication date： Feb. 28, 1995
Summary：
【要約】【目的】 耐熱衝撃性にすぐれたスパッタリング焼結ターゲット材を提供する。【構成】 スパッタリング焼結ターゲット材が、BaTiO3 または(Ba,Sr)TiO3 の理論酸素含有量に比して1〜10%低い酸素含有量のBaTiO3-x または(Ba,Sr)TiO3-x からなる。
Claim (excerpt)：
BaとTiの複合酸化物で構成されたスパッタリング焼結ターゲット材において、前記BaとTiの複合酸化物における酸素含有量を、これの理論酸素含有量に比して1〜10%低い酸素含有量としたことを特徴とする耐熱衝撃性のすぐれたスパッタリング焼結ターゲット材。
IPC (3)：
C23C 14/34
, C04B 35/46
, C23C 14/08
