エレクトロルミネッセンス素子の製造方法及び製造装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：恩田博宣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995028448
Publication number (International publication number)：1996017575
Application date： Feb. 16, 1995
Publication date： Jan. 19, 1996
Summary：

【要約】【目的】高輝度青色発光が得られる品質の高い発光層を有するエレクトロルミネッセンス(EL)素子を製造する。【構成】ガラス基板11上に第1電極12、第1絶縁層13、発光層14、第2絶縁層15、及び第2電極16を、少なくとも光取り出し側の材料を光学的に透明なものにて形成して順次積層する。発光層14についてはこれを、発光層母体材料となるII族元素原料ガス、VI族元素原料ガス及び発光中心原料ガスを反応炉内に供給し、該反応炉内でこれら原料ガスを反応させる気相成長法を用いて成膜する。その際、これら各原料ガスは、各別のガス供給管によって反応炉内に導入する。これら各ガス供給管は、II族元素原料ガス供給用のものを中心に、その周囲に発光中心原料ガス供給用のものを、更にその周囲にVI族元素原料ガス供給用のものを配設する。

Claim (excerpt)：

絶縁基板の上方に発光層を具えるエレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、発光層母体材料となるII族元素原料ガス、VI族元素原料ガス及び発光中心元素原料ガスをそれぞれ反応炉内に供給し、該反応炉内でこれら原料ガスを反応させる気相成長法を用いて前記発光層を形成するに、前記II族元素原料ガスを前記反応炉の中央から供給し、前記VI族元素原料ガスをその周囲から供給することを特徴とするエレクトロルミネッセンス素子の製造方法。

IPC (3)：

H05B 33/10 , G09F 9/30 365 , H05B 33/14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

薄膜ELディスプレイ素子の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-197590 Applicant：日本電装株式会社, 新技術事業団
特開平2-152191
青色光発光リン光体を有する交流薄膜エレクトロルミネセンス装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-052593 Applicant：プレイナーシステムスインコーポレーテツド

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