Pat
J-GLOBAL ID：200903017683969678

液晶表示装置用アレー基板とその製造方法

Inventor：
ビョン・テ・チェ

About ビョン・テ・チェ


Applicant, Patent owner：
エルジー フィリップス エルシーディー カンパニー リミテッド

About エルジー フィリップス エルシーディー カンパニー リミテッド


Agent (1)： 曾我 道照 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003100565
Publication number (International publication number)：2003309269
Application date： Apr. 03, 2003
Publication date： Oct. 31, 2003
Summary：
【要約】【課題】 ドレイン電極の一側に下部のアクティブ層をさらに延ばして、保護膜をエッチングする工程中ドレイン電極下部のゲート絶縁膜がエッチングされることを防止する。【解決手段】 本発明は液晶表示装置に係り、特に液晶表示装置用アレー基板の製造方法に関する。従来の4マスク工程で製作されたアレー基板は、ドレイン電極の側面において、その下部のゲート絶縁膜がオーバーエッチングされてあらわれる段差により画素電極がオープンされる不良が発生した。これを解決するために、本発明はドレイン電極をあらわすコンタクトホールをアクティブ層上部に形成する構成を提案する。このような構成は、前記コンタクトホール下部のゲート絶縁膜がエッチングされることを防止できるために、画素電極がオープンされる不良を防ぐことができる。
Claim (excerpt)：
基板と;前記基板上に相互交差して画素領域を定義するデータ配線及びゲート配線と;前記ゲート配線とデータ配線に電気的に連結されてなり、ゲート電極とソース及びドレイン電極、及びアクティブ層を含む薄膜トランジスタと;前記ゲート配線とデータ配線及び薄膜トランジスタを覆って、前記アクティブ層上部に形成されて前記ドレイン電極と前記アクティブ層を露出させるコンタクトホールを有する保護膜と;前記保護膜上部に形成されて、前記コンタクトホールを通して前記ドレイン電極と接触する画素電極とを含むことを特徴とする液晶表示装置用アレー基板。
IPC (2)：
H01L 29/786 ,  G02F 1/1368
FI (3)：
G02F 1/1368 ,  H01L 29/78 618 C ,  H01L 29/78 616 T
F-Term (48)：
2H092GA29 ,  2H092JA26 ,  2H092JA29 ,  2H092JA42 ,  2H092JA46 ,  2H092JA47 ,  2H092JB61 ,  2H092KA05 ,  2H092KA12 ,  2H092KA13 ,  2H092KA18 ,  2H092KB25 ,  2H092MA04 ,  2H092MA13 ,  2H092MA15 ,  2H092MA17 ,  2H092NA15 ,  2H092NA21 ,  2H092PA08 ,  2H092PA09 ,  2H092QA06 ,  2H092QA13 ,  2H092QA14 ,  5F110AA30 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE14 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF27 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG23 ,  5F110HK04 ,  5F110HK09 ,  5F110HK21 ,  5F110HK32 ,  5F110HL14 ,  5F110NN02 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN33 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM