走査型顕微鏡

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997253427
Publication number (International publication number)：1999095119
Application date： Sep. 18, 1997
Publication date： Apr. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】本発明は、試料に対する所望する観察画像を速やかに得られる走査型顕微鏡を提供する。【解決手段】ステージ8上に載置された試料9をTVカメラ19により撮像し、この撮像された観察画像をコントローラ15に取込み、この観察画像の各ライン上の輝度値の平均値と予め設定されたしきい値から、観察画像中の輝度の分布を求め、この輝度分布に基づいて2次元走査ユニット5による試料9上のスポット光を走査するラインを決定する。

Claim (excerpt)：

ステージ上に載置された試料上にスポット光を走査することで試料を観察する走査型顕微鏡において、前記ステージ上の試料を撮像する撮像手段を有するとともに該撮像手段により撮像された観察画像を取込む画像取込み手段と、この画像取り込み手段により取込まれた観察画像の少なくとも1ラインごとのの輝度情報から前記観察画像中の輝度の分布を求める輝度分布検出手段と、この輝度分布検出手段の検出結果に基づいて前記試料上のスポット光を走査するラインを決定する走査ライン決定手段とを具備したことを特徴とする走査型顕微鏡。

IPC (3)：

G02B 21/06 , G02B 21/00 , G02B 21/36

FI (3)：

G02B 21/06 , G02B 21/00 , G02B 21/36

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

レーザー走査顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-304795 Applicant：株式会社ニコン
特開平4-027908
光学顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-008378 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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Cited by examiner (6)

レーザー走査顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-304795 Applicant：株式会社ニコン
特開平4-027908
光学顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-008378 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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