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J-GLOBAL ID:200903035846508523

共焦点走査型光学顕微鏡

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴江 武彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995002560
Publication number (International publication number):1996190053
Application date: Jan. 11, 1995
Publication date: Jul. 23, 1996
Summary:
【要約】【目的】試料と対物レンズの衝突を防止すること。【構成】光源 2からの出射光を試料に集光する対物レンズ 7と、試料 8からの光を検出する光検出器13と、試料に集光した光と試料とを相対的に2次元走査する走査機構 5と、対物レンズの焦点位置と試料の位置を相対的に光軸方向に走査する移動機構とを有する共焦点走査型光学顕微鏡において、試料の観察範囲または測定範囲を決定するのに、最初に対物レンズと試料とが近付く方向にのみ移動を許可し、対物レンズの焦点位置を試料の最上面に移動させたならばそれを上限に次は順次対物レンズの焦点位置と試料とが接離する方向への移動を許可して焦点位置が試料の上面の最低面に来る位置を見つけられるようにし、移動量が対物レンズの動作距離を越える場合には移動を中止させる機能を持たせる。
Claim (excerpt):
光源からの出射光を対物レンズを介して試料に集光すると共に、上記出射光を試料に対して相対的に2次元走査し、対物レンズを介して試料から得られた光を対物レンズと共焦点の関係にある光学系を介して光検出器により検出して画像情報を得るようにし、前記対物レンズの焦点位置と試料の位置を相対的に光軸方向に走査する移動機構により当該光軸方向に所要のピッチで走査することにより前記試料の共焦点画像を得る共焦点走査型光学顕微鏡において、前記移動機構による走査方向に対しての範囲を決定する場合に、前記対物レンズの焦点位置を試料の最上面から前記対物レンズが引き離される方向に対してのみ移動を可能に規制制御し、上限が決定された後はこれを上限として前記対物レンズと試料の接離方向に対しての移動を可能にし、移動量が前記対物レンズの焦点距離を越える場合には移動を中止させるべく前記移動機構を制御する制御手段を具備することを特徴とする共焦点走査型光学顕微鏡。
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3)

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