感光性樹脂現像液

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：野中克彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991276687
Publication number (International publication number)：1993088377
Application date： Sep. 27, 1991
Publication date： Apr. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明の目的は、繰り返し現像に使用しても現像性能の低下の少ない水溶液性の感光性樹脂用現像液を提供することである。【構成】下記AならびにB群の各水溶液から選ばれた夫々1種以上をA:B=1:0.01〜0.01:1の重量比率で混合してなる感光性樹脂用現像液。A群:NaOH, KOH, Na2CO3, K2CO3, (CH3)4NOH, NH3の各水溶液B群:希塩酸もしくはNaCl, KCl, NaHCO3, KHCO3, ホウ砂,ホウ酸,グリシン,NH4Cl, Na2HPO4等の各水溶液【効果】繰り返し現像に使用しても現像時間の変動が少なく同一使用条件下での多数回の使用が可能である。

Claim (excerpt)：

下記A群の水溶液から選ばれた1種または2種以上の水溶液とB群の水溶液から選ばれた1種または2種以上の水溶液を混合してなる感光性樹脂用現像液。A群:水酸化ナトリウム水溶液,水酸化カリウム水溶液,炭酸ナトリウム水溶液,炭酸カリウム水溶液,テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液,アンモニア水B群:希塩酸,塩化ナトリウム水溶液,塩化カリウム水溶液,炭酸水素ナトリウム水溶液,炭酸水素カリウム水溶液,ホウ砂水溶液,ホウ酸水溶液,グリシン水溶液,塩化アンモニウム水溶液,リン酸水素二ナトリウム水溶液,リン酸水素二カリウム水溶液,リン酸二水素ナトリウム水溶液,リン酸二水素カリウム水溶液,クエン酸ナトリウム水溶液,クエン酸カリウム水溶液,クエン酸水素ナトリウム水溶液,クエン酸水素カリウム水溶液,酒石酸ナトリウム水溶液,酒石酸カリウム水溶液,乳酸ナトリウム水溶液,乳酸カリウム水溶液,酢酸ナトリウム水溶液,酢酸カリウム水溶液,フタル酸水素ナトリウム水溶液,フタル酸水素カリウム水溶液

IPC (2)：

G03F 7/32 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特開平2-002571
特開昭49-034323
特開平2-002572

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