X線評価装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：樺山亨 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994182474
Publication number (International publication number)：1996043325
Application date： Aug. 03, 1994
Publication date： Feb. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】100meV以下の分解能を有するX線分光器と高感度なX線検出器を用いて有機・無機の結晶やアモルファス物質の原子・電子構造等を評価することができるX線評価装置を提供する。【構成】本発明ではX線評価装置を、X線を分光するためのすれすれ入射反射防止膜(GIAR膜)5aを用いたX線分光器4と、試料7を保持すると共に相対的に移動させるマニピュレータ6と、試料7を通過又は反射したX線を検出するX線検出器8と、X線分光器4とマニピュレータ6とX線検出器8を内蔵した真空チャンバー1とにより構成した。【効果】GIAR膜を用いたX線分光器と試料用マニピュレータ及びX線検出器を高真空中に配置して用いたことにより、100meV以下の高分解能X線が得られ、かつそれを検出することができる。

Claim (excerpt)：

X線を分光するためのすれすれ入射反射防止膜(GIAR膜)を用いたX線分光器と、試料を保持すると共に相対的に移動させるマニピュレータと、試料を通過又は反射したX線を検出するX線検出器と、前記X線分光器とマニピュレータとX線検出器を内蔵した真空チャンバーとにより構成したことを特徴とするX線評価装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

X線評価装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-211168 Applicant：株式会社リコー
特開昭59-108945
特開平3-095445

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