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J-GLOBAL ID：200903018105619300

欠陥検出方法及びプログラム

Inventor： 中山 攻
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (2)： 武 顕次郎 ,  橘 昭成
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005037613
Publication number (International publication number)：2006226706
Application date： Feb. 15, 2005
Publication date： Aug. 31, 2006
Summary：

【課題】検査画像に含まれる低コントラストのスジ状の欠陥を、ノイズの影響を受けることなく高精度に検出する。【解決手段】撮像された被検査物表面の状態を検査画像として入力し、所定の領域に分割する(ステップ101、102)。分割した各領域に二次元フーリエ変換を行って検査周波数画像を作成し、の画像から二次元のパワースペクトラムを作成する(ステップ103、104)。次に、二次元のパワースペクトラム上での強度分布の偏りを数値化するが、欠陥部の特徴を精度よく表すための前処理としてノイズ成分の除去を行う(ステップ105、106)。数値化された各検査領域におけるパワースペクトラムの強度分布の傾きαが所定の範囲内に収まる領域を欠陥領域として抽出し、抽出した欠陥領域を統合して欠陥領域の大きさを算出して判定を行う(ステップ107〜109)【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

被検査物を撮像した画像データを処理することにより被検査物の欠陥を検査する欠陥検出方法において、 被検査物を撮像した画像データを所定の領域に分割し、分割されたそれぞれの領域の画像データを二次元フーリエ変換することにより周波数画像データを作成し、作成された周波数画像データから、それぞれの領域における周波数状態を示す検査パワースペクトラムデータを作成し、作成された検査パワースペクトラムデータについて強度分布の偏りを数値化し、次に、各領域毎に算出された検査パワースペクトラムデータの強度分布の偏りを周辺の領域と比較することにより被検査物の欠陥を検出することを特徴とする欠陥検出方法。

IPC (2)：

G01N 21/88 ,  G06T 1/00

FI (2)：

G01N21/88 J ,  G06T1/00 300

F-Term (19)：

2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB06 ,  2G051EA08 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051EC04 ,  5B057AA20 ,  5B057BA02 ,  5B057BA29 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB05 ,  5B057DB09 ,  5B057DC30 ,  5B057DC36

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 特許第3050432号公報
  
• 欠陥検出方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-316690   Applicant：株式会社リコー