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J-GLOBAL ID：200903018206548500

平らな加工物を製作するための装置及び方法

Inventor：
エイデルマン,ドロン

About エイデルマン,ドロン

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フィッシュ,デーヴィッド

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ノイ,アミール

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グロス,アブラハム

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Applicant, Patent owner：
オーボテック リミテッド

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Agent (1)： 社本 一夫 (外5名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000579975
Publication number (International publication number)：2002529758
Application date： Nov. 02, 1999
Publication date： Sep. 10, 2002
Summary：
【要約】【課題】 汚染物に対する感受性が高いフラットパネルディスプレー基板等の平らな物品を製造し検査するための方法及び装置を提供する。【解決手段】 物品にコーティングを付けるといった製造工程は、自己充足型微小環境内で、代表的には、空媒粒子濃度が周囲よりも大幅に低いことを特徴とする環境内で行われる。製作工程の完了後、及び他の製作機器への移送前に物品の検査を行うため、製作機器の自己充足型微小環境内部に自動検査装置が設けられている。検査装置は、物品を様々な形体の暗視野照明及び明視野照明で照明する照明サブシステム、物品の画像を様々な照明形体の下で捕捉するスターイングアレイセンサ、及び画像を分析して欠陥を自動的に検出するコンピューターを含む。
Claim (excerpt)：
フラットパネルディスプレーを製造するためのシステムにおいて、 制御された第1環境内に配置された複数の製造装置であって、これらの製造装置のうちの少なくとも幾つかの各々が、前記制御された第1環境とは異なる制御された第2環境を画成する包囲体を含む、複数の製造装置、及び 前記複数の製造装置によるフラットパネルディスプレー基板の様々な製造工程で前記フラットパネルディスプレー基板を検査するように作動する複数の光学的検査装置であって、これらの光学的検査装置のうちの少なくとも幾つかが、前記制御された第2環境を画成する前記包囲体内に配置されている、光学的検査装置を含む、システム。
IPC (6)：
G09F 9/00 352 ,  G09F 9/00 338 ,  B01J 19/00 ,  G01N 21/88 ,  G02F 1/13 101 ,  H04N 17/04
FI (6)：
G09F 9/00 352 ,  G09F 9/00 338 ,  B01J 19/00 K ,  G01N 21/88 Z ,  G02F 1/13 101 ,  H04N 17/04 A
F-Term (41)：
2G051AA51 ,  2G051AA90 ,  2G051AB01 ,  2G051AB07 ,  2G051AC11 ,  2G051BA01 ,  2G051BB01 ,  2G051BB05 ,  2G051BB11 ,  2G051BB17 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CC07 ,  2G051DA01 ,  2G051EA12 ,  2H088FA11 ,  2H088FA17 ,  2H088FA25 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  4G075AA24 ,  4G075AA65 ,  4G075BC06 ,  4G075CA22 ,  4G075CA38 ,  4G075CA39 ,  4G075CA61 ,  4G075DA01 ,  4G075DA02 ,  4G075EB01 ,  4G075EB33 ,  4G075EB34 ,  4G075ED20 ,  4G075FC04 ,  5C061BB01 ,  5C061CC05 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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