固体撮像素子とその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：尾川秀昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992305993
Publication number (International publication number)：1994132506
Application date： Oct. 19, 1992
Publication date： May. 13, 1994
Summary：

【要約】【目的】表面がパシベーション膜5で覆われた撮像領域上に平坦化膜6が形成され、該平坦化膜6上に少なくともオンチップマイクロレンズ8が形成された固体撮像素子において、平坦化膜6の表面を平坦にしつつレンズ・受光部間距離を小さくしてシェーディングを防止し、レンズ・受光部間距離不均一による分光を防止し、感度及び分光のF値依存性の低減を図る。【構成】平坦化膜6の表面をパシベーション膜5の最も高い部分の表面と略同じ高さにしたことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

表面がパシベーション膜で覆われた撮像領域上に平坦化膜が形成され、該平坦化膜上に少なくともオンチップマイクロレンズが形成された固体撮像素子において、上記平坦化膜の表面がパシベーション膜の最も高い部分の表面と略同じ高さにされたことを特徴とする固体撮像素子

IPC (3)：

H01L 27/14 , G02B 3/00 , H04N 5/335

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平3-183165
特開平3-283573
特開平1-279204

Show all

Return to Previous Page