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J-GLOBAL ID：200903018315722375

オゾンガス配管における金属不純物低減方法

Inventor： 中塚 豪 ,  向井 史朗 ,  小林 次郎 ,  中本 靖二
Applicant, Patent owner： 住友精密工業株式会社
Agent (1)： 生形 元重 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996331654
Publication number (International publication number)：1997208202
Application date： Nov. 26, 1996
Publication date： Aug. 12, 1997
Summary：

【要約】【課題】 ステンレス鋼配管を通してオゾンガスを供給する場合に問題となる配管からの金属不純物の発生を抑える。【解決手段】 オゾン濃度の経時的な低下を抑えるために、高純度酸素ガスからなる原料ガスに触媒ガスとして添加する窒素ガスの濃度を1.0vol %未満に制限する。

Claim (excerpt)：

オゾン発生機によりオゾンガスを発生させ、且つそのオゾンガスをステンレス鋼配管により供給する際に、高純度酸素ガスに窒素ガス、ヘリウムガス、アルゴンガス、二酸化炭素ガスおよび一酸化炭素ガスの一種以上を合計で0.025vol %以上添加した混合ガスを原料ガスとして用い、且つ原料ガス中の窒素ガス濃度を1.0vol %未満に制限することを特徴とするオゾンガス配管における金属不純物低減方法。

IPC (5)：

C01B 13/11 ,  C23F 15/00 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/3065

FI (5)：

C01B 13/11 L ,  C23F 15/00 ,  H01L 21/304 341 Z ,  H01L 21/31 B ,  H01L 21/302 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• オゾン発生方法と装置及びその使用方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-299092   Applicant：株式会社荏原製作所, 株式会社東芝
• 特開平1-298003
  
• 特公平6-021010