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J-GLOBAL ID：200903018365419517

デバイス・テスタ用オートハンドラ及びその装置のデバイス測定方法

Inventor： 後藤 敏雄 ,  菊池 有朋 ,  葉山 久夫
Applicant, Patent owner： 株式会社アドバンテスト
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994268230
Publication number (International publication number)：1996105937
Application date： Oct. 06, 1994
Publication date： Apr. 23, 1996
Summary：

【要約】【目的】 本発明はデバイス・テストにおいて、電気的テストのスループットと同じ時間内で同時的に精密な外観検査を行うことができるデバイス・テスタ用オートハンドラ及びその測定方法を提供することを目的とする。【構成】 上記目的を達成するために、本発明は輝度制御可能な複数の発光素子から成る照明器とCCDカメラでもって小型のデバイス外観検査装置を開発してオートハンドラ内部に設置し、電気的テスト終了後に必要に応じて数段のデバイス外観検査装置を通して外観検査をも行う構成とし、等価的に電気的テストのスループットの時間内で外観検査も終了する構成とした。

Claim (excerpt)：

DUT(10)を搬送し、接触部(21)でデバイス・テスタとコンタクトして電気的諸特性を測定し、上記測定データに基づいたカテゴリ毎に分類し搬送するオートハンドラにおいて、電気的諸特性を測定する上記接触部(21)の近傍にデバイス外観を検査する外観検査部(27)を設けた、ことを特徴とするデバイス・テスタ用オ-トハンドラ。

IPC (2)：

G01R 31/26 ,  H01L 21/66

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• ICハンドラ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-136565   Applicant：株式会社日立製作所, 日立清水エンジニアリング株式会社