Pat
J-GLOBAL ID：200903018384186221

オートフォーカス装置

Inventor：
石川 愛一

About 石川 愛一

, 
二星 俊明

About 二星 俊明


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 大西 正悟
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003087278
Publication number (International publication number)：2004070276
Application date： Mar. 27, 2003
Publication date： Mar. 04, 2004
Summary：
【課題】第1対物レンズの焦点に、観察の対象物の任意の位置を合わせることを可能とするオートフォーカス装置を提供する。【解決手段】LED光源21からの照明光をスリット板22のスリット開孔22aを通してスリット状にし、第1対物レンズ12で集光結像し、ステージ11上の標本18に照射し、その反射像を第1対物レンズ12を通してオートフォーカス用CCD30で結像し、第1対物レンズ12の焦点に標本18を位置決めするスリット投影式オートフォーカス装置において、ダイクロイックミラー16と第1ハーフミラー25の間に焦点位置調節レンズ8を配設し、この焦点位置調節レンズ8を光軸に沿って前後に移動することにより、前記スリット照明光の焦点位置を調節可能とし、それにより、第1対物レンズ12の焦点に標本18の任意の位置を合わせることを可能とする。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
光源と、 前記光源からの光に基づく光像を対物レンズを通して対象物上に結像させるフォーカス用照明光学系と、 前記対象物からの前記光像の反射光を前記対物レンズを通して受けて前記光像の反射像を結像させるフォーカス用結像光学系と、 前記フォーカス用結像光学系による前記反射像の結像位置に設けられて前記反射像を検出する光電変換器と、 前記光電変換器で得られた前記反射像の信号に基づいてフォーカスアクチュエータの作動を制御する信号を出力する信号出力手段と、 前記光像及び前記反射像のいずれか一方または両方の結像位置を光軸方向に移動させる調節を行う結像位置調節手段とを有し、 前記結像位置調節手段は、前記対物レンズを含む観察光学系の結像位置と前記フォーカス用照明光学系の結像位置とのオフセット量を調節できることを特徴とするオートフォーカス装置。
IPC (3)：
G02B7/28 ,  G02B7/36 ,  G02B21/24
FI (4)：
G02B7/11 N ,  G02B21/24 ,  G02B7/11 J ,  G02B7/11 D
F-Term (13)：
2H051AA11 ,  2H051BA67 ,  2H051BA70 ,  2H051CB02 ,  2H051CB05 ,  2H051CB11 ,  2H051CB20 ,  2H051CC03 ,  2H051EA10 ,  2H052AC04 ,  2H052AC13 ,  2H052AD09 ,  2H052AD19
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
Show all
Cited by examiner (5)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM