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J-GLOBAL ID：200903018658296118

表面平滑加工用適応GCIB

Inventor：
フェナー,デイビッド,ビー.

About フェナー,デイビッド,ビー.


Applicant, Patent owner：
エピオン コーポレイション

About エピオン コーポレイション


Agent (1)： 廣江 武典
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001511710
Publication number (International publication number)：2003505867
Application date： Jul. 14, 2000
Publication date： Feb. 12, 2003
Summary：
【要約】表面粗度の低下性能を改善させるために固体対象物体の表面の処理時にイオンビームの物性を適応させるGCIBを利用した方法と装置とが開示されている。本願発明は所定の深度にまでエッチングして表面汚染物を除去するエッチングと組み合わせた表面平滑性能を提供する。本願発明の利点は、処理時間が短いことと、仕上がり表面の残留粗度が小さいことと、望む表面平滑性を得るために除去する表面材料の量を減少させることである。
Claim (excerpt)：
対象物体表面の処理中にガスクラスタイオンビームを活用する方法であって、 該イオンビームに関連するパラメータと特徴とをセットするステップと、 前記対象物体表面を該イオンビームに対して露出するステップと、 前記対象表面の処理中に操作条件に対応して前記パラメータと特徴とを適応させるステップと、を含んでいることを特徴とする方法。
IPC (4)：
H01L 21/3065 ,  C23F 4/00 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/305
FI (4)：
C23F 4/00 A ,  G21K 5/04 A ,  H01J 37/305 A ,  H01L 21/302 L
F-Term (28)：
4K057DA01 ,  4K057DA04 ,  4K057DD04 ,  4K057DE01 ,  4K057DE06 ,  4K057DE14 ,  4K057DE20 ,  4K057DG13 ,  4K057DG14 ,  4K057DG15 ,  4K057DG17 ,  4K057DG20 ,  4K057DN01 ,  4K057WB01 ,  4K057WB06 ,  5C034BB09 ,  5F004AA11 ,  5F004AA14 ,  5F004BA11 ,  5F004BA17 ,  5F004CA01 ,  5F004CA02 ,  5F004CA03 ,  5F004CB09 ,  5F004DA04 ,  5F004DA23 ,  5F004DA26 ,  5F004DA30
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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