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J-GLOBAL ID：200903018709978693

走査形プローブ顕微鏡

Inventor：
岩 槻 正 志

About 岩 槻 正 志


Applicant, Patent owner：
日本電子株式会社

About 日本電子株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998029334
Publication number (International publication number)：1999211733
Application date： Jan. 27, 1998
Publication date： Aug. 06, 1999
Summary：
【要約】【課題】 試料内部の情報まで得ることができる走査形プローブ顕微鏡を提供すること。【解決手段】 試料とカンチレバ間に働く摩擦力を表す演算増幅器17の出力は、AD変換器18を介してメモリ19に記憶される。メモリ19に記憶された試料面S1〜Snに関する摩擦力データは画像処理回路20に送られ、画像処理回路20は、摩擦力データを”1”または”0”のデータに2値化する。そして、画像処理回路20は、”1”で表わされたデータを抽出し、抽出したデータから3次元画像データを作成する。
Claim (excerpt)：
試料に探針を対向させた状態で試料または探針を2次元的に走査し、探針の変位を検出して試料の2次元画像を得るようにした走査形プローブ顕微鏡において、試料を割断する割断手段と、試料の割断の度に得られた試料の2次元画像データを記憶する記憶手段と、該記憶手段に記憶された2次元画像データに基づいて試料の3次元画像データを作成する画像処理手段を備えたことを特徴とする走査形プローブ顕微鏡。
IPC (4)：
G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  G01N 1/28 ,  H01J 37/28
FI (4)：
G01N 37/00 A ,  G01B 7/34 Z ,  H01J 37/28 X ,  G01N 1/28 G
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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