Pat

J-GLOBAL ID：200903018956126977

化学増幅型感放射線性樹脂組成物

Inventor： 梶田 徹 ,  鈴木 正睦 ,  大田 利幸 ,  辻 昭
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社
Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993291521
Publication number (International publication number)：1995128852
Application date： Oct. 28, 1993
Publication date： May. 19, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 感度、パターン形状、解像度、耐熱性等も良好であり、遠紫外線を含む各種放射線に感応する高集積回路作製用化学増幅型レジストとして好適な感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 化学増幅型感放射線性樹脂組成物は、感放射線性酸発生剤として、下記一般式(1)、(2)または(3)で表される化合物の群から選ばれる少なくとも1種の化合物を含有することを特徴とする。〔一般式(1)、(2)および(3)において、R1は水素原子または有機基を示し、R2およびR3は水素原子、ハロゲン原子または有機基を示し、R4は有機基を示し、一般式(2)におけるR5はジアゾ基を示すか、または3〜8員の炭素環あるいは3〜8員の複素環を構成する2価の有機基を示し、一般式(3)におけるR6は2価の有機基を示す。〕

Claim (excerpt)：

放射線の照射により酸を発生する感放射線性酸発生剤を含有し、放射線の照射により発生した酸の触媒作用による化学反応によって、放射線照射部分の現像液に対する溶解性を変化させてパターンを形成する化学増幅型感放射線性樹脂組成物において、該感放射線性酸発生剤が、下記一般式(1)、(2)または(3)で表される化合物の群から選ばれる少なくとも1種の化合物を含有することを特徴とする化学増幅型感放射線性樹脂組成物。【化1】【化2】【化3】〔一般式(1)、(2)および(3)において、R1は水素原子、炭素数1〜10の置換もしくは未置換のアルキル基、炭素数6〜18の置換もしくは未置換のアリール基または炭素数7〜18の置換もしくは未置換のアラルキル基を示し、R2およびR3は相互に同一でも異なってもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜10の置換もしくは未置換のアルキル基、炭素数6〜18の置換もしくは未置換のアリール基、炭素数7〜18の置換もしくは未置換のアラルキル基または炭素数1〜7のアシル基を示し、R4は炭素数1〜20の置換もしくは未置換のアルキル基、炭素数6〜18の置換もしくは未置換のアリール基または炭素数7〜18の置換もしくは未置換のアラルキル基を示し、一般式(3)において複数存在する各R1、R2およびR4は相互に同一でも異なってもよく、一般式(2)におけるR5はジアゾ基を示すか、または3〜8員の炭素環あるいは3〜8員の複素環を形成する炭素数2〜12の2価の有機基を示し、一般式(3)におけるR6は炭素数2〜12の置換もしくは未置換のアルキレン基、炭素数6〜12の置換もしくは未置換のアリーレン基または炭素数7〜12の置換もしくは未置換のアリーレンアルキレン基からなる2価の有機基を示す。〕

IPC (5)：

G03F 7/028 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/038 505 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 感光性組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-188327   Applicant：株式会社東芝