感光性組成物

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992188327
Publication number (International publication number)：1993313371
Application date： Jul. 15, 1992
Publication date： Nov. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】短波長の紫外線等の露光に対して、高感度、高解像性を有し、且つパターン形成のプロセスを通じて安定性の高い感光性組成物を提供すること。【構成】アルカリ可溶性樹脂と、酸によって分解する置換基を有し分解後にアルカリ可溶性基を生じる化合物、または酸によって架橋する置換基を有する化合物と、下記一般式(1)で表される露光によって酸を発生する化合物とを含有することを特徴とする。【化1】式中、R11は1価の有機基、またはハロゲン原子、ニトロ基、およびシアノ基からなる群より選ばれた少なくとも1種が導入された1価の有機基を表す。R12、R13およびR14は、夫々独立に、水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、1価の有機基を表し、その少なくとも1個はシアノ基またはニトロ基である。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂と、酸によって分解する置換基を有し分解後にアルカリ可溶性基を生じる化合物、または酸によって架橋する置換基を有する化合物と、下記一般式(1)で表される露光によって酸を発生する化合物とを含有する感光性組成物。【化1】式中、R11は1価の有機基、またはハロゲン原子、ニトロ基、およびシアノ基からなる群より選ばれた少なくとも1種が導入された1価の有機基を表し、R12、R13およびR14は、夫々独立に、水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、1価の有機基、またはハロゲン原子、ニトロ基、およびシアノ基からなる群より選ばれた少なくとも1種が導入された1価の有機基を表す。

IPC (5)：

G03F 7/038 505 , G03F 7/004 501 , G03F 7/028 , G03F 7/039 501 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

特表平4-500698
特表平4-500698
特開平2-084648

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