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J-GLOBAL ID:200903018987360684
アモルファスカーボン膜及び容器
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
酒井 宏明
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005115004
Publication number (International publication number):2006289836
Application date: Apr. 12, 2005
Publication date: Oct. 26, 2006
Summary:
【課題】アモルファスカーボン膜中のダングリングボンドを水素以外の元素により積極的に終端させ、ガスバリア性を向上させたアモルファスカーボン膜及び該膜を有する容器を提供する。【解決手段】第1のアモルファスカーボン膜は、基材上の少なくとも片面に形成され、ガスバリア性を有するアモルファスカーボン膜であって、膜中の窒素濃度が0.5原子%以上5.0原子%以下とする。又は第2のアモルファスカーボン膜は、基材上の少なくとも片面に形成され、ガスバリア性を有するアモルファスカーボン膜であって、膜中の酸素濃度が0.1原子%以上2.0原子%以下とする。【選択図】図1
Claim (excerpt):
基材上の少なくとも片面に形成され、ガスバリア性を有するアモルファスカーボン膜であって、
膜中の窒素濃度が0.5原子%以上5.0原子%以下であることを特徴とするアモルファスカーボン膜。
IPC (3):
B32B 9/00
, B65D 25/34
, C01B 31/02
FI (3):
B32B9/00 A
, B65D25/34 C
, C01B31/02 101Z
F-Term (49):
3E062AA06
, 3E062AA09
, 3E062AB02
, 3E062AB03
, 3E062AC02
, 3E062JA01
, 3E062JA07
, 3E062JA08
, 3E062JB24
, 3E062JC04
, 3E062JD01
, 4F100AA37B
, 4F100AD00A
, 4F100AG00A
, 4F100AK01A
, 4F100AK42
, 4F100AT00A
, 4F100BA02
, 4F100BA03
, 4F100DG10A
, 4F100GB16
, 4F100GB41
, 4F100JA12B
, 4F100JD01B
, 4F100JD03
, 4F100JK14
, 4F100JL11
, 4G146AA01
, 4G146AA15
, 4G146AB07
, 4G146AC27A
, 4G146AC27B
, 4G146AD02
, 4G146AD40
, 4G146BA12
, 4G146BC09
, 4G146BC23
, 4G146BC24
, 4G146BC27
, 4G146BC38B
, 4K030AA09
, 4K030AA18
, 4K030BA27
, 4K030BB05
, 4K030CA07
, 4K030CA13
, 4K030FA01
, 4K030LA01
, 4K030LA24
Patent cited by the Patent:
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