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J-GLOBAL ID:200903024075377969
プラスチック容器内面への炭素膜形成装置および内面炭素膜被覆プラスチック容器の製造方法
Inventor:
,
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
鈴江 武彦 (外5名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002077114
Publication number (International publication number):2003237754
Application date: Mar. 19, 2002
Publication date: Aug. 27, 2003
Summary:
【要約】【課題】 均一な膜厚を有する炭素膜をプラスチック容器内面全体にコーティングすることが可能なプラスチック容器の内面への炭素膜形成装置を提供する。【解決手段】 プラスチック容器が挿入された時にその容器の口部および肩部を除く外周を取り囲む大きさを有する有底円筒状の外部電極と、プラスチック容器が挿入された時に少なくともその容器の口部および肩部と外部電極の間に介在された誘電体材料からなるスペーサと、容器の口部が位置する側の外部電極の端面に絶縁部材を介して取り付けられた排気管と、外部電極内の前記プラスチック容器内に排気管側から容器の長手のほぼ全長にわたって挿入され、接地側に接続されると共に、媒質ガスを吹き出すためのガス吹き出し孔が穿設された内部電極と、排気管に取り付けられた排気手段と、内部電極に媒質ガスを供給するガス供給手段と、外部電極に接続された高周波電源とを具備する。
Claim (excerpt):
被処理物であるプラスチック容器が挿入された時にその容器の口部および肩部を除く外周を取り囲む大きさを有する有底円筒状の外部電極と、被処理物であるプラスチック容器が挿入された時に少なくともその容器の口部および肩部と前記外部電極の間に介在された誘電体材料からなるスペーサと、前記容器の口部が位置する側の前記外部電極の端面に絶縁部材を介して取り付けられた排気管と、前記外部電極内の前記プラスチック容器内に前記排気管側から前記容器の長手のほぼ全長にわたって挿入され、接地側に接続されると共に、媒質ガスを吹き出すためのガス吹き出し孔が穿設された内部電極と、前記排気管に取り付けられた排気手段と、前記内部電極に媒質ガスを供給するためのガス供給手段と、前記外部電極に接続された高周波電源と、を具備したことを特徴とするプラスチック容器内面への炭素膜形成装置。
IPC (3):
B65D 1/09
, C23C 16/26
, C23C 16/509
FI (4):
C23C 16/26
, C23C 16/509
, B65D 1/00 C
, B65D 1/00 B
F-Term (14):
3E033AA01
, 3E033BA13
, 3E033BB08
, 3E033CA16
, 3E033DB01
, 3E033EA10
, 3E033FA03
, 4K030AA09
, 4K030BA27
, 4K030CA07
, 4K030CA15
, 4K030FA03
, 4K030KA15
, 4K030KA17
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (5)
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特許第2788412号
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成膜装置及び成膜方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-024256
Applicant:凸版印刷株式会社
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堆積膜形成装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-206600
Applicant:キヤノン株式会社
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