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J-GLOBAL ID:200903019022067727
X線発生装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
長谷川 芳樹 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001165020
Publication number (International publication number):2002358919
Application date: May. 31, 2001
Publication date: Dec. 13, 2002
Summary:
【要約】【課題】 高解像度の透過型X線管を提供すること。【解決手段】 電子レンズ形成部100Aは、ヨーク130の内部に形成された中心軸部131と、ヨーク130の外周を規定する外周部133を含む。中心軸部131の先端部135の一部は、電子銃側に位置する磁極110となる。磁極110により第1開口部111が規定されている。外周部133の先端部137の一部は、ターゲット300側に位置する磁極120となる。磁極120により第2開口部121が規定されている。第2開口部121の径d2の値は、第1開口部111の径d1の値より大きい。
Claim (excerpt):
電子ビームをターゲットの一方の面に当てることにより、前記ターゲットの他方の面からX線が放射されるX線発生装置であって、電子ビームを発生する手段と、前記電子ビーム発生手段側に位置する一方磁極と前記ターゲット側に位置する他方磁極を含み、これらの磁極により発生する磁場を用いて電子ビームを収束させる電子レンズを形成する手段と、を備え、前記一方磁極は、前記電子ビーム発生手段で発生した電子ビームが出射される第1開口部を有し、前記他方磁極は、前記第1開口部から出射された電子ビームが入射する第2開口部を有し、前記第2開口部の径の値は、前記第1開口部の径の値以上である、X線発生装置。
IPC (2):
FI (2):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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X線管
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-085899
Applicant:株式会社島津製作所
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荷電粒子ビ-ムフォ-カシング用磁気レンズ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-319019
Applicant:シュルンベルジェテクノロジーズ,インコーポレイテッド
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特開昭58-198837
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開放型X線発生装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-309843
Applicant:浜松ホトニクス株式会社
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荷電粒子線装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-112884
Applicant:株式会社ニコン
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