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J-GLOBAL ID：200903019037830311

薄型ワーク駆動装置

Inventor： 磯部 章 ,  冨田 良幸 ,  原 一敬 ,  真崎 隆三 ,  岩瀬 昭雄 ,  永田 浩
Applicant, Patent owner： 住友重機械工業株式会社
Agent (1)： 光来出 良彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998120944
Publication number (International publication number)：1999309655
Application date： Apr. 30, 1998
Publication date： Nov. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】 両面共に平行度が求められる薄型ワーク(例えば光学部品のガラスや半導体シリコンウェハなど)の両表面処理加工、特に、両面研削加工に使用される両頭研削装置に適用でき、薄型ワークの使用面にダメージを与えないように円板状の薄型ワークを効率よく自転させて研削させるために、薄型ワークを保持しながら回転駆動することができる薄側ワーク駆動装置を提供する。【解決手段】 円板状の薄型ワーク18の外周を複数個のローラで支持し、該ローラの少なくとも一部の複数個のローラが駆動ローラ17として薄型ワーク18と回転可能に接触する。前記ローラのうちの少なくとも複数個のローラは常にワーク中心に向かって押し付力を与える支持ローラ19である。薄型ワーク18の表裏面が液圧による側方ガイド23によって保持されることが好ましい。

Claim (excerpt)：

円板状の薄型ワークの外周を回動自在に支持する複数個のローラを有し、該ローラのうちの複数個のローラが回転駆動する駆動ローラとして機能することにより、薄型ワークの回転時に、薄型ワークの被加工面である表裏面を加工処理できるように薄型ワークを回動自在に支持することを特徴とする薄型ワーク駆動装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭49-034094
  
• 特開平4-041167
  
• ウエハの加工方法及び平面研削盤
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-158724   Applicant：株式会社日平トヤマ