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J-GLOBAL ID：200903019039038194
非弾性散乱成分を除去した反射高速電子回折パターンの計測法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉村 暁秀 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995268019
Publication number (International publication number)：1997089815
Application date： Sep. 22, 1995
Publication date： Apr. 04, 1997
Summary：
【要約】【課題】 反射高速電子回折法において、反射高速電子回折パターンより非弾性散乱電子を排除し、弾性散乱電子のみを蛍光スクリーンに到達させて、観察、計測又は表示すること【解決手段】 反射高速電子回折法において、電子銃より放射された電子が試料表面において反射し、蛍光スクリーンに投射される間にエネルギーフィルターを挿入し、該フィルターの中央のグリッドにしきい値としての阻止電圧をかけ、非弾性散乱電子を排除し、弾性散乱電子を蛍光スクリーンに投射し、これに映出される回折パターンをモニターカメラで観測し、コントロールシステムのコンピュータでそのパターンの強度及びバックグランドの挙動を計測するようにした反射高速電子回折パターンの計測法。
Claim (excerpt)：
電子銃より放射された電子を試料表面で反射させ、この反射電子をモニターカメラの前面に設けた蛍光スクリーンに投射する反射高速電子回折において、スクリーン前面にエネルギーフィルターを設け、エネルギーフィルターの中央のグリッドに阻止電圧をかけ、該阻止電圧より低い運動エネルギーを有する非弾性散乱電子を阻止し、阻止電圧以上の運動エネルギーを有する散乱電子のみが蛍光スクリーンに到達し、発光するようにし、この回折パターンをモニターカメラで観測し、コントロールシステムで計測するようにしたことを特徴とする非弾性散乱電子を除去した反射高速電子回折パターンの計測法。
IPC (2)：
FI (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (1)
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中速電子回折測定方法および装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平6-012982
Applicant：東ソー株式会社
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