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J-GLOBAL ID：200903019040669033

透明層の厚さ測定方法及び測定装置

Inventor：
安達 正明

About 安達 正明


Applicant, Patent owner：
国立大学法人金沢大学

About 国立大学法人金沢大学


Agent (3)： 阿部 伸一 ,  清水 善廣 ,  辻田 幸史
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006348834
Publication number (International publication number)：2008157834
Application date： Dec. 26, 2006
Publication date： Jul. 10, 2008
Summary：
【課題】光の干渉現象によらずに、膜厚を測定する方法及び装置を提供すること。【解決手段】反射が少ない透明層1と、透明層1との境界面において反射する不透明層3とが積層され、透明層1の表面に向けてレーザ光を照射し、表面での第1の反射光2Xと、境界面での第2の反射光3Xとから透明層1の厚みを計測する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
反射が少ない透明層と、前記透明層との境界面において反射する不透明層とが積層され、前記透明層の表面に向けてレーザ光を照射し、前記表面での第1の反射光と、前記境界面での第2の反射光とから前記透明層の厚みを計測する透明層の厚さ測定方法であって、 S偏光成分とP偏光成分とによって前記表面での反射率の大きさが異なる角度で前記レーザ光を前記透明層に入射し、 前記第1の反射光と前記第2の反射光とを受光部にて撮像し、 S偏光成分による前記レーザ光の反射光を撮像した第1の撮像データと、P偏光成分による前記レーザ光の反射光を撮像した第2の撮像データとを画像データ記録部に記憶し、 前記第1の撮像データと前記第2の撮像データとの差から表面位置判定部にて前記表面の位置を判定し、 前記第2の撮像データから境界面位置判定部にて前記境界面の位置を判定し、 前記表面位置判定部にて判定した前記表面の位置データと、前記境界面位置判定部にて判定した前記境界面の位置データとから、前記透明層の厚さを計測することを特徴とする透明層の厚さ測定方法。
IPC (4)：
G01B 11/06 ,  B05D 1/36 ,  B05D 5/06 ,  B05C 11/00
FI (4)：
G01B11/06 H ,  B05D1/36 Z ,  B05D5/06 101A ,  B05C11/00
F-Term (27)：
2F065AA30 ,  2F065BB22 ,  2F065CC31 ,  2F065FF42 ,  2F065FF49 ,  2F065GG04 ,  2F065HH09 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065LL12 ,  2F065LL21 ,  2F065LL28 ,  2F065LL30 ,  2F065LL33 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ42 ,  4D075BB92Z ,  4D075CB13 ,  4D075DC11 ,  4D075EA43 ,  4F042AA09 ,  4F042AB00 ,  4F042BA22 ,  4F042BA25 ,  4F042DH09
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (11)
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Cited by examiner (10)
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