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J-GLOBAL ID：200903064914150810

面位置検出装置

Inventor：
長沼 義広

About 長沼 義広


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (2)： 渡辺 隆男 ,  大澤 圭司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006025534
Publication number (International publication number)：2006317428
Application date： Feb. 02, 2006
Publication date： Nov. 24, 2006
Summary：
【課題】裏面反射があるような対象物であっても、精度良く面位置を検出する。【解決手段】光源11からの光を被検物に照射する投光光学系13、14、3と、投光光学系に設けられ、光源からの光束の一部を遮蔽し、被検物からの光を反射する第1光路分割部材12と、第1光路分割部材で反射された被検物からの光を2つの光路に分割する第2光路分割部材15と、複数の受光部を有し、第2光路分割部材により分割された一方の光を受光する第1受光手段16と、第1受光手段により検出された複数の受光部で受光された光量を基に、被検物の面位置を検出する第1位置検出部17、7と、第2光路分割部材により分割された他方の光の光路中に設けられたピンホール18を透過した光を受光する第2受光手段19と、第2受光手段により受光された光量を基に被検物の面位置を検出する第2位置検出部20、7と、投光光学系と被検物との相対位置を変更する移動手段とを有する。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
光源からの光を被検物に照射する投光光学系と、 前記投光光学系に設けられ、前記光源からの光束の一部を遮蔽し、前記被検物からの光を反射する第1光路分割部材と、 前記第1光路分割部材で反射された被検物からの光を2つの光路に分割する第2光路分割部材と、 複数の受光部を有し、前記第2光路分割部材により分割された一方の光を受光する第1受光手段と、 前記第1受光手段により検出された前記複数の受光部で受光された光量を基に、前記被検物の面位置を検出する第1位置検出部と、 前記第2光路分割部材により分割された他方の光の光路中に設けられたピンホールあるいはスリットと、 前記ピンホールあるいはスリットを透過した光を受光する第2受光手段と、 前記第2受光手段により受光された光量を基に前記被検物の面位置を検出する第2位置検出部と、 前記投光光学系と前記被検物との相対位置を変更する移動手段と を有することを特徴とする面位置検出装置。
IPC (4)：
G01C 3/06 ,  G01B 11/00 ,  G02B 7/28 ,  G02B 7/38
FI (6)：
G01C3/06 120P ,  G01B11/00 B ,  G01C3/06 140 ,  G02B7/11 N ,  G02B7/11 E ,  G02B7/11 H
F-Term (57)：
2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065AA20 ,  2F065AA24 ,  2F065AA25 ,  2F065AA30 ,  2F065AA51 ,  2F065BB01 ,  2F065BB05 ,  2F065DD04 ,  2F065DD12 ,  2F065EE00 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065FF15 ,  2F065FF41 ,  2F065FF67 ,  2F065GG06 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ23 ,  2F065LL00 ,  2F065LL12 ,  2F065LL20 ,  2F065LL28 ,  2F065LL30 ,  2F065NN02 ,  2F065NN17 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ42 ,  2F065RR09 ,  2F112AB03 ,  2F112AB07 ,  2F112BA07 ,  2F112CA12 ,  2F112DA09 ,  2F112DA13 ,  2F112DA25 ,  2F112DA32 ,  2F112EA09 ,  2F112FA19 ,  2F112FA41 ,  2F112FA45 ,  2F112GA01 ,  2H051AA11 ,  2H051AA13 ,  2H051AA15 ,  2H051BB27 ,  2H051CB02 ,  2H051CB11 ,  2H051CB29
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 断面形状測定装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-233464   Applicant：株式会社ニコン
Cited by examiner (7)
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