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J-GLOBAL ID：200903019100850778

圧電素子制御装置、走査型プローブ顕微鏡、及び圧電素子制御プログラム

Inventor：
酒井 信明

About 酒井 信明


Applicant, Patent owner：
オリンパス株式会社

About オリンパス株式会社


Agent (4)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  村松 貞男 ,  風間 鉄也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003141938
Publication number (International publication number)：2004347355
Application date： May. 20, 2003
Publication date： Dec. 09, 2004
Summary：
【課題】微小変位におけるセンサ感度が圧電素子の変位量Zによらず一定で、微小変位においても高精度な制御が可能な圧電素子制御装置を提供する。【解決手段】圧電素子制御装置であって、第1の電極と第2の電極を有し、第1の電極及び第2の電極間に加えられた電界により変位を生ずる圧電素子20と、圧電素子20の第1の電極に接続され、第1の電極及び第2の電極間に電界を加えるための電圧信号を出力する駆動回路14,15,16と、圧電素子20の第2の電極に接続され、圧電素子20に蓄積される電荷量を検出する電荷検出回路30と、駆動回路14,15,16の出力と、電荷検出回路30の出力とに基づいて、電荷検出回路30の出力を補正するための演算を行い、補正値を出力する補正回路40とを具備する。【選択図】 図7
Claim (excerpt)：
圧電素子制御装置であって、 第1の電極と第2の電極を有し、該第1の電極及び第2の電極間に加えられた電界により変位を生ずる圧電素子と、 前記圧電素子の第1の電極に接続され、前記第1の電極及び第2の電極間に電界を加えるための電圧信号を出力する電圧印加手段と、 前記圧電素子の第2の電極に接続され、前記圧電素子に蓄積される電荷量を検出する電荷検出回路と、 前記電圧印加手段の出力と、前記電荷検出回路の出力とに基づいて、前記電荷検出回路の出力を補正するための演算を行い、補正値を出力する補正回路と、 を具備することを特徴とする圧電素子制御装置。
IPC (3)：
G01N13/10 ,  G12B21/20 ,  H01L41/09
FI (4)：
G01N13/10 C ,  G12B1/00 601G ,  H01L41/08 K ,  H01L41/08 J
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)
  • 圧電素子駆動装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-105889   Applicant：日本電気株式会社
  • 特開昭63-237345
  • 特開昭63-236993

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