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J-GLOBAL ID:200903019117674094

液晶パネルの配線パターン形成方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998012111
Publication number (International publication number):1999194358
Application date: Jan. 06, 1998
Publication date: Jul. 21, 1999
Summary:
【要約】【課題】 液晶表示部が形成されたガラス基板上にCOG(Chip On Glass)方式によって駆動ICを実装する液晶パネルの配線パターン形成方法において、駆動IC用配線パターンとITO電極パターンとの位置ずれを防止する。【解決手段】 液晶表示部が形成されるガラス基板1bの全面に液晶用のITO透明電極膜5aを形成し、この電極膜上の一部にガラス基板1b上に実装される駆動IC用の金属電極被膜5cを水金法によって形成し、前記ITO透明電極膜5a及び金属電極被膜5cの全面にフォトレジスト膜10を形成し、その上から配線パターン像が形成されたフォトマスク11を介して露光し、金属電極被膜5c及びITO透明電極膜5aの順にエッチングして不要なITO透明電極膜5a及び金属電極被膜5cをそれぞれ除去する。
Claim (excerpt):
液晶表示部が形成されるガラス基板の全面に液晶用の透明電極膜を形成し、この電極膜上の一部にガラス基板上に実装される駆動IC用の金属電極被膜を水金法によって形成し、前記透明電極膜及び金属電極被膜の全面にフォトレジスト膜を形成し、その上から配線パターン像が形成されたフォトマスクを介して露光し、金属電極被膜及び透明電極膜の順にエッチングして不要な透明電極膜及び金属電極被膜をそれぞれ除去することを特徴とする液晶パネルの配線パターン形成方法。
IPC (2):
G02F 1/1345 ,  G09F 9/00 346
FI (2):
G02F 1/1345 ,  G09F 9/00 346 E
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
  • 表示素子の端子引出構造
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平4-261713   Applicant:京セラ株式会社
  • 金属ライン付透明電極
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平4-043138   Applicant:松下電器産業株式会社
  • 特開平3-160417

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