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J-GLOBAL ID：200903019127006545

圧電素子及び液体噴射ヘッド並びに圧電素子の製造方法

Inventor： 風間 宏信 ,  朝岡 一郎 ,  李 欣山 ,  角 浩二
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 栗原 浩之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004015359
Publication number (International publication number)：2005209912
Application date： Jan. 23, 2004
Publication date： Aug. 04, 2005
Summary：

【課題】 比較的容易に所望の特性が得られる圧電素子及び圧電素子を具備する液体噴射ヘッド、並びに比較的容易に圧電体層の結晶配向を制御することができる圧電素子の製造方法を提供する。【解決手段】 基板の一方面側に設けられた下電極60と、下電極上に設けられた圧電体層70と、圧電体層上に設けられた上電極とからなる圧電素子であって、下電極の少なくとも最上層63は(111)面に優先配向し、且つ(111)面以外の配向が存在するイリジウム層からなり、圧電体層が下電極上に直接形成されていると共に(100)面に優先配向しているようにする。【選択図】図4

Claim (excerpt)：

基板の一方面側に設けられた下電極と、該下電極上に設けられた圧電体層と、該圧電体層上に設けられた上電極とからなる圧電素子であって、 前記下電極の少なくとも最上層は(111)面に優先配向し且つ(111)面以外の配向が存在するイリジウム層からなり、前記圧電体層が前記下電極上に直接形成されていると共に(100)面に優先配向していることを特徴とする圧電素子。

IPC (8)：

H01L41/09 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  H01L41/08 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22 ,  H01L41/24

FI (12)：

H01L41/08 C ,  B41J3/04 103H ,  B41J3/04 103A ,  H01L41/08 J ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/08 D ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101J ,  H01L41/22 A

F-Term (10)：

2C057AF93 ,  2C057AG42 ,  2C057AG44 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP52 ,  2C057AP57 ,  2C057AP75 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 強誘電体薄膜素子の製造方法、インクジェット式記録ヘッド及びインクジェットプリンタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-245966   Applicant：セイコーエプソン株式会社