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J-GLOBAL ID:200903019199548385
感光性ポリイミド前駆体組成物
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998198425
Publication number (International publication number):1999100503
Application date: Jul. 14, 1998
Publication date: Apr. 13, 1999
Summary:
【要約】【課題】アルカリ現像可能な感光性ポリイミド前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。【化1】
Claim (excerpt):
(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する4から8価の有機基、R2は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価の有機基、R3は水素または炭素数1から20までの有機基、nは10〜100000の整数、mは1または2の整数、pは1から4の整数を示す。)
IPC (2):
FI (2):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
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特開平4-204945
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感光性組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-115526
Applicant:東レ株式会社
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