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J-GLOBAL ID：200903094347520454

感光性組成物

Inventor： 富川 真佐夫 ,  三浦 康男
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998115526
Publication number (International publication number)：1999024270
Application date： Apr. 24, 1998
Publication date： Jan. 29, 1999
Summary：

【要約】【課題】アルカリ現像可能な感光性組成物を提供する。【解決手段】(a)一般式(1)【化1】(式中、R1 は少なくとも2個の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2 は、少なくとも2個の炭素原子を有する3から6価の有機基、R3 は水素原子、または炭素数1から10までの1価の有機基である。また、nは10から100000までの整数、mは1または2、pは1から4までの整数である。)で表されるポリマーと、(b)キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。

Claim (excerpt)：

(a)一般式(1)【化1】(式中、R1 は少なくとも2個の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2 は、少なくとも2個の炭素原子を有する3から6価の有機基、R3 は水素原子または炭素数1から10までの1価の有機基である。また、nは10から100000までの整数、mは1または2、pは1から4までの整数である。)で表されるポリマーと、(b)キノンジアジド化合物とを含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (7)：

G03F 7/039 ,  C08K 5/28 ,  C08L 77/06 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/037 501 ,  G03F 7/11 501 ,  H01L 21/027

FI (7)：

G03F 7/039 ,  C08K 5/28 ,  C08L 77/06 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/037 501 ,  G03F 7/11 501 ,  H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平3-204649
  
• 特開平4-284455
  
• 耐熱性感光性重合体組成物及びレリーフパターンの製造法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-047455   Applicant：日立化成工業株式会社
• 感光性樹脂組成物と該組成物を用いたパターン形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-153918   Applicant：株式会社日立製作所, 日立化成工業株式会社