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J-GLOBAL ID：200903019271801597

感光性樹脂組成物及びパターン形成方法

Inventor： 林 伸之 ,  谷 元昭 ,  町田 裕幸
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 野河 信太郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995315340
Publication number (International publication number)：1997160241
Application date： Dec. 04, 1995
Publication date： Jun. 20, 1997
Summary：

【要約】【課題】 膜減りが少なく、現像工程に有機溶媒を使用しない、低コストの感光性樹脂組成物を得ること課題とする。【解決手段】 下記一般式(I)【化1】(式中、R1 は4価の脂肪族基又は脂環族基であり、R2 は2価の芳香族基、脂肪族基、脂環族基又はオルガノシロキサン基である)で表される繰り返し単位からなるポリイミド前駆体と、少なくとも1種類のエポキシアクリレート又はエポキシメタクリレートと、3つ以上の重合性不飽和基を持つ重合性不飽和化合物と、光重合開始剤とからなることを特徴とする感光性樹脂組成物により上記課題を解決する。

Claim (excerpt)：

下記一般式(I)【化1】(式中、R1 は4価の脂肪族基又は脂環族基であり、R2 は2価の芳香族基、脂肪族基、脂環族基又はオルガノシロキサン基である)で表される繰り返し単位からなるポリイミド前駆体と、少なくとも1種類のエポキシアクリレート又はエポキシメタクリレートと、3つ以上の重合性不飽和基を持つ重合性不飽和化合物と、光重合開始剤とからなることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (6)：

G03F 7/037 501 ,  C08F 2/48 MDK ,  C08F290/06 MRV ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 515

FI (6)：

G03F 7/037 501 ,  C08F 2/48 MDK ,  C08F290/06 MRV ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 515

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-077742
  
• 感光性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-190155   Applicant：チッソ株式会社
• 特開昭59-015449