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J-GLOBAL ID：200903019430064590

静電チャックデバイスおよび静電チャック用基台

Inventor： 川南 修一 ,  浅井 義博
Applicant, Patent owner： 日本セメント株式会社
Agent (1)： 高山 宏志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997089926
Publication number (International publication number)：1998270540
Application date： Mar. 26, 1997
Publication date： Oct. 09, 1998
Summary：

【要約】【課題】 温度変化があっても、静電チャックのそりや剥離を生じることがない静電チャックデバイスおよび静電チャック用基台を提供すること。【解決手段】静電チャックデバイス1は、内部電極4を有するセラミックス製プレート3からなる静電チャック2と、この静電チャック2を固定する金属-セラミックス複合材料で形成された基台5とを具備する。

Claim (excerpt)：

内部電極を有するセラミックス製プレートからなる静電チャックと、この静電チャックを固定する金属-セラミックス複合材料で形成された基台とを具備することを特徴とする静電チャックデバイス。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  H02N 13/00

FI (2)：

H01L 21/68 R ,  H02N 13/00 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 静電チャック
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-100701   Applicant：株式会社創造科学, 有限会社宮田技研