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J-GLOBAL ID:200903019625388870
放射線分析装置と放射線分析方法、及びそれを用いたX線計測装置
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
松下 義治
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005220980
Publication number (International publication number):2007033392
Application date: Jul. 29, 2005
Publication date: Feb. 08, 2007
Summary:
【課題】バイアス電流や冷却温度などの測定環境変動により特性変化するTESで、計測中のエネルギー感度のズレを補償するために、頻繁に感度校正することが難しかった。【解決手段】パルス信号印加手段7を備え、パルス信号印加手段からの電流パルスをバイアス電流供給手段52の出力に加算することによりTES1にパルス信号を加える。さらに、波高分析器4から出力された波高スペクトルを有限時間間隔で複数回測定し保存し、保存された波高スペクトルのパルス信号に対応するピーク位置と実際のエネルギーの値が一致するように感度係数を導出し、それを用いて感度校正してエネルギースペクトルを与える演算処理装置18を備える。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
放射線エネルギーを温度変化として検出する放射線検出素子と、
前記放射線検出素子を駆動する電力供給手段と、
前記放射線検出素子からの信号を電気信号に変換し増幅する信号読み出し手段と、
前記増幅された電気信号の波形をパルス信号に整形処理する波形整形器と、
前記パルス信号を波高スペクトルに対応して選別する波高分析器とからなる放射線分析装置において、
前記放射線検出素子に電流パルスを印加するパルス信号印加手段と、
前記波高分析器から出力された波高スペクトルと前記電流パルスに対応するエネルギースペクトルとから感度補正を行う演算処理装置とを備えることを特徴とする放射線分析装置。
IPC (3):
G01N 23/225
, G01T 1/26
, G01T 1/36
FI (3):
G01N23/225
, G01T1/26
, G01T1/36 C
F-Term (18):
2G001AA03
, 2G001BA05
, 2G001CA01
, 2G001DA01
, 2G001DA10
, 2G001EA03
, 2G001EA20
, 2G001FA08
, 2G001GA11
, 2G001JA06
, 2G088EE29
, 2G088FF02
, 2G088FF15
, 2G088GG22
, 2G088KK01
, 2G088LL05
, 2G088LL15
, 2G088LL26
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
Cited by examiner (1)
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放射線計測装置およびそれを用いた分析装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-160800
Applicant:エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
Article cited by the Patent: