走査試料像表示方法および装置ならびにそれに供される試料

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：筒井大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992089189
Publication number (International publication number)：1993290786
Application date： Apr. 10, 1992
Publication date： Nov. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】従来困難とされていた凹凸の大きく激しい表面構造や試料内部の構造、欠陥、異物などの特定構造を、非破壊で観察することが可能な走査試料像表示技術を提供する。また、検査・計測に応用することにより、高品質、高信頼性のデバイス・部品を経済的に供給できるようにする。【構成】走査電子ビーム1bが試料2と作用して生じる一次情報が、さらに、試料2と相互作用した結果生じる二次電子5bなどの二次情報を像信号として走査試料像を形成する。

Claim (excerpt)：

走査粒子線を試料に照射し、前記走査粒子線が前記試料と作用して生じる散乱粒子やX線,光などの一次情報が、前記試料と再度相互作用した結果生じる二次電子や光などの二次情報を主たる像形成の信号として用いることを特徴とする走査試料像表示方法。

IPC (3)：

H01J 37/28 , G01N 23/04 , H01J 37/20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (17)

特開平2-021549
特開昭52-044158
特開昭54-152457

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