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J-GLOBAL ID：200903019725844121

Fe-Co-B系合金ターゲット材、その製造方法、軟磁性膜および磁気記録媒体ならびにTMR素子

Inventor：
上野 英

About 上野 英

, 
上野 友典

About 上野 友典

, 
横山 紳一郎

About 横山 紳一郎


Applicant, Patent owner：
日立金属株式会社

About 日立金属株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004100406
Publication number (International publication number)：2004346423
Application date： Mar. 30, 2004
Publication date： Dec. 09, 2004
Summary：
【課題】 垂直磁気記録媒体やTMR素子等に用いられる軟磁性膜を成膜するためにFe-Co-B系合金ターゲット材の低透磁率を実現し、良好なスパッタリング特性を有するFe-Co-B系合金ターゲット材を提供する。【解決手段】 断面ミクロ組織においてホウ化物相の存在しない領域に描ける最大内接円の直径が30μm以下であることを特徴とするFe-Co-B系合金ターゲット材である。また、原子比における組成式が(FeXCo100-X)100-YBY、5≦X≦95、5≦Y≦30である前記のFe-Co-B系合金ターゲット材である。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
断面ミクロ組織においてホウ化物相の存在しない領域に描ける最大内接円の直径が30μm以下であることを特徴とするFe-Co-B系合金ターゲット材。
IPC (11)：
C23C14/34 ,  B22F3/15 ,  B22F5/00 ,  C22C1/04 ,  C22C19/07 ,  C22C33/02 ,  C22C38/00 ,  C22C38/10 ,  H01F1/14 ,  H01F10/16 ,  H01L43/08
FI (11)：
C23C14/34 A ,  B22F3/15 M ,  B22F5/00 Z ,  C22C1/04 B ,  C22C19/07 G ,  C22C33/02 B ,  C22C38/00 304 ,  C22C38/10 ,  H01F10/16 ,  H01L43/08 M ,  H01F1/14 Z
F-Term (20)：
4K018AA10 ,  4K018AA25 ,  4K018BA04 ,  4K018BA16 ,  4K018BB10 ,  4K018EA16 ,  4K018FA01 ,  4K018HA10 ,  4K018KA29 ,  4K018KA43 ,  4K029DC04 ,  4K029DC09 ,  5E041AA05 ,  5E041CA05 ,  5E041CA10 ,  5E041HB15 ,  5E041NN01 ,  5E049CC01 ,  5E049EB01 ,  5E049GC01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (6)
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