可変波長光源

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：早川誠志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002284995
Publication number (International publication number)：2004119933
Application date： Sep. 30, 2002
Publication date： Apr. 15, 2004
Summary：

【課題】小型で容易に製造でき、波長の可変範囲を広くする。【解決手段】アクチュエータ30は、枠状の基板32と、その基板32の内縁から直線状に延び、少なくとも捩じれ方向の可撓性を有する連結部33、34と、連結部33、34を介して基板32とほぼ面一の状態で連結され、連結部33、34の可撓性により基板32に対して少なくとも連結部33、342の延長線を中心とする回転移動が可能で且つ一面側に回折格子25からの回折光を反射させるための反射面が形成された可動板35と、基板32の少なくとも一面側に絶縁された状態で且つ一部が可動板35の表面の縁部に隙間のある状態で対向する位置に固定され、可動板35に静電力を与えるための電極板51〜54、56〜59とを有し、可動板35の反射面が回折格子25からの回折光を受ける位置で基台21に固定されている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基台(21)に固定されたレーザ光源(23)が出射する光を前記基台に固定された回折格子(25)に入射し、該入射光に対して前記回折格子が出射する回折光をアクチュエータ(30)によって移動可能な反射体(35)に入射し、該反射体によって反射された反射光を前記回折格子へ入射させ、該反射光に対する回折光を前記回折格子から前記レーザ光源に戻して、該レーザ光源から出射される光の波長を前記回折格子に対する前記反射体の位置の変化に応じて可変させる外部共振器型の可変波長光源において、前記アクチュエータは、前記基台に固定された基板(32)と、前記基板の縁から直線状に延び、少なくとも捩じれ方向の可撓性を有する連結部(33、34)と、前記連結部を介して前記基板とほぼ面一の状態で連結され、前記連結部の可撓性により前記基板に対して少なくとも前記連結部の延長線を中心とする回転移動が可能で且つ一面側に前記回折格子からの回折光を反射させるための反射面(37)が形成された可動板(35)と、前記基板の少なくとも一面側に絶縁された状態で且つ一部が前記可動板の表面の縁部に隙間のある状態で対向する位置に固定され、前記可動板に静電力を与えるための電極板(51〜54、56〜59)とを有し、前記可動板の反射面が前記回折格子からの回折光を受ける位置で前記基台に固定されていることを特徴とする可変波長光源。

IPC (3)：

H01S5/14 , G02B26/00 , H01S5/02

FI (3)：

H01S5/14 , G02B26/00 , H01S5/02

F-Term (11)：

2H041AA21 , 2H041AB14 , 2H041AC06 , 2H041AZ02 , 2H041AZ06 , 5F073AB25 , 5F073AB27 , 5F073AB29 , 5F073BA02 , 5F073EA02 , 5F073EA29

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

光走査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-070304 Applicant：株式会社リコー

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