配向膜の形成方法および露光装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (2)：大垣孝 (外1名) , 大垣孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997090736
Publication number (International publication number)：1998282499
Application date： Apr. 09, 1997
Publication date： Oct. 23, 1998
Summary：

【要約】【課題】偏光による露光が可能な露光装置を提供する。【解決手段】光源11と、該光源11からの光の入射角がブルースター角になるように配置された平行平面板群G1〜Gnと、該平行平面板群G1〜Gnの反射光路上または透過光路上に配置された被露光物設置台19とを具える。

Claim (excerpt)：

偏光を照射するとその部分が液晶に対する配向膜としての機能を示すようになる材料に、偏光を照射して、配向膜を形成する方法において、平行平面板を光源からの光の入射角がブルースター角になるように配置し、該平行平面板の反射光または透過光を前記偏光として用いることを特徴とする配向膜の形成方法。

IPC (2)：

G02F 1/1337 , H01L 21/027

FI (2)：

G02F 1/1337 , H01L 21/30 515 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (12)

板状偏光素子、該板状偏光素子を用いた偏光照明装置および前記板状偏光素子を用いたプロジェクター
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-105136 Applicant：キヤノン株式会社
特開平4-007520
特開平4-284421

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